(1) Prōzniowo kōmora przed-
Funkcyjōm pre-prōzniowyj kōmory je zapewniynie, iże kōmora tryfowanio je utrzimowano na ustalōnym poziōmie prōzni, niy je pod wpływym zewnyntrznego strzodowiska (takego jak pył, para wodno) i izoluje niybezpieczne gazy z czystyj pōmiyszkanio. Skłodo sie ôna z pokrywy, manipulatora, mechanizmu transmisyje, drzwi izolacyjnych, itp.
(2) Komora tryfowanio
Komora tryfowanio je podstawowōm strukturōm urzōndzynio tryfowanio ICP. Mo bezpostrzedni wpływ na tympo tryfowanio, piōnowość tryfowanio i szorstkość. Głōwnymi elymyntami kōmory tryfowanio sōm: wiyrchnio elektroda, jednotka radiofrekwyncyje ICP, jednotka radiofrekwyncyje RF, systym spodnich elektrod, systym kōntrole tymperatury, itp.
(3) Systym lifrowanio gazu
Systym lifrowanio gazu mo na cylu dostarczanie roztōmajtych gazōw tryfowanio do komory tryfowanio jak tyż akuratnyj kōntrole przepływu i przepływu gazu bez kōntroler ciśniynio (PC) i kōntroler przepływu masowego (MFC). Systym lifrowanio gazu skłodo sie z butelki zdrzōdła gazu, rułociōngu dolifrowanio gazu, systymu kōntrole, jednostki miynszajōncyj, itp.
(4) Systym prōzniowy
Sōm dwa systymy prōzniowe, jedyn dlo przed-prōzniowyj kōmory, a drugi dlo kōmory tryfowanio. Przed-prōzniowo kōmora je ewakuowano bez mechaniczno pōmpa. Ino kej poziōm prōzni w pre-prōzniowyj kōmore ôsiōngnie zadany wert, drzwi izolacyje mogōm być ôtworzōne do przeniesiynio płytki.